詳情
分子式:CF4
分子量:88.01
CAS號(hào):75-73-0
性質(zhì):又稱四氟甲烷。
(tetrafluormathane)。無色無臭味氣體。不燃。熔點(diǎn)-184℃。沸點(diǎn)-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡膠,也可用作制冷劑、絕緣氣體。可用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中等離子蝕刻、表面清洗,并用作太陽能電池氣體,激光器工作介質(zhì)。及超低溫制冷劑,氣體絕緣劑、微電子工業(yè)中等離子體化學(xué)干刻劑以及火箭方向的控制。高濃度對人體有麻醉作用。
用途:用于致冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。也用于制作低溫液體壓力計(jì)或作為惰性氣體,或用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝和激光氣體。
產(chǎn)品包裝:
分子量:88.01
CAS號(hào):75-73-0
性質(zhì):又稱四氟甲烷。
(tetrafluormathane)。無色無臭味氣體。不燃。熔點(diǎn)-184℃。沸點(diǎn)-128℃。稍溶于水。由四氯化碳氟化制得。主要用于制取氟硅橡膠,也可用作制冷劑、絕緣氣體。可用于半導(dǎo)體生產(chǎn)中等離子蝕刻、表面清洗,并用作太陽能電池氣體,激光器工作介質(zhì)。及超低溫制冷劑,氣體絕緣劑、微電子工業(yè)中等離子體化學(xué)干刻劑以及火箭方向的控制。高濃度對人體有麻醉作用。
用途:用于致冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。也用于制作低溫液體壓力計(jì)或作為惰性氣體,或用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝和激光氣體。
產(chǎn)品指標(biāo):
洛陽特來化工科技產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo) | |||
項(xiàng)目名稱 | 指標(biāo)純度 | ||
四氟化碳(CF4).% | ≥99.999 | ≥99.995 | ≥99.99 |
氮?dú)猓∟2).ppmv | ≤4 | ≤20 | ≤40 |
氧氣(O2).ppmv | ≤1 | ≤5 | ≤10 |
二氧化碳(CO2).ppmv | ≤1 | ≤5 | ≤10 |
一氧化碳(CO).ppmv | ≤0.3 | ≤0.5 | ≤1 |
六氟化硫(SF6).ppmv | ≤1 | ≤1 | ≤5 |
水份(H2O).ppmv | ≤1 | ≤5 | ≤10 |
酸度(HF).ppmv | ≤0.1 | ≤0.3 | ≤0.3 |
氟碳化合物(TFC).ppmv | ≤1 | ≤10 | ≤30 |
注:氟碳化合物CH3F(R41)、CH2F2(R32)、CHF3(R23)、C2F6(R116)、C3F8(R218)等。 |
鋼瓶規(guī)格(DOT) | 48.8L | 47L | 40L | 10L | 4L |
鋼瓶閥 | CGA580/CGA590/CGA320 |
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