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六氟乙烷

六氟乙烷

瀏覽次數(shù):4497次

所屬分類:氟化物產(chǎn)品

發(fā)布日期:2021-06-29 16:20:22

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詳情

  一、產(chǎn)品介紹

  中文名稱:六氟乙烷           英文名稱:hexafluoroethane
  化學(xué)式:C2F6                  CAS號:76-16-4
  熔點(diǎn)(℃):-101               沸點(diǎn)(℃):-78
  亦是烴類化合物乙烷所對應(yīng)的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。

  二、主要用途

  可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù),常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
  作制冷劑方面:六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)

  三、運(yùn)輸信息

  危險貨物編號:22034
  UN編號:2193
  包裝類別:O53
  包裝方法: 鋼質(zhì)氣瓶。
  運(yùn)輸注意事項: 采用剛瓶運(yùn)輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,并應(yīng)將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護(hù)欄板,并用三角木墊卡牢,防止?jié)L動。嚴(yán)禁與氧化劑等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸,防止日光曝曬。鐵路運(yùn)輸時要禁止溜放。

  四、泄漏處理

  應(yīng)急處理: 迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。如有可能,將漏氣的容器移至空曠處,注意通風(fēng)。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗后再用。

  五、儲存注意

  儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。應(yīng)與氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

  產(chǎn)品指標(biāo):

特來化工科技產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)
項目名稱 質(zhì)量指標(biāo)
六氟乙烷(C2F6).ppmv ≥99.999%
氧氣(O2).ppmv ≤2.0
氮?dú)猓∟2).ppmv ≤8.0
二氧化碳(CO2).ppmv ≤0.5
一氧化碳(CO).ppmv ≤0.5
水份(H2O).ppmv ≤0.1
酸度(以HF計).ppmv ≤0.1
其它有機(jī)物.ppmv ≤1.5

  包裝規(guī)格:

鋼瓶包裝 容積 凈重
44L 43kg
鋼瓶閥門 CGA660/DISS716


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