詳情
一、產(chǎn)品介紹
中文名稱:六氟乙烷 英文名稱:hexafluoroethane化學(xué)式:C2F6 CAS號:76-16-4
熔點(diǎn)(℃):-101 沸點(diǎn)(℃):-78
亦是烴類化合物乙烷所對應(yīng)的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。
二、主要用途
可用于一種具多功能的蝕刻技術(shù),常見于半導(dǎo)體之生產(chǎn)。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。作制冷劑方面:六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)
三、運(yùn)輸信息
危險貨物編號:22034UN編號:2193
包裝類別:O53
包裝方法: 鋼質(zhì)氣瓶。
運(yùn)輸注意事項: 采用剛瓶運(yùn)輸時必須戴好鋼瓶上的安全帽。鋼瓶一般平放,并應(yīng)將瓶口朝同一方向,不可交叉;高度不得超過車輛的防護(hù)欄板,并用三角木墊卡牢,防止?jié)L動。嚴(yán)禁與氧化劑等混裝混運(yùn)。夏季應(yīng)早晚運(yùn)輸,防止日光曝曬。鐵路運(yùn)輸時要禁止溜放。
四、泄漏處理
應(yīng)急處理: 迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。盡可能切斷泄漏源。合理通風(fēng),加速擴(kuò)散。如有可能,將漏氣的容器移至空曠處,注意通風(fēng)。漏氣容器要妥善處理,修復(fù)、檢驗后再用。五、儲存注意
儲存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。應(yīng)與氧化劑分開存放,切忌混儲。儲區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。產(chǎn)品指標(biāo):
特來化工科技產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo) | |
項目名稱 | 質(zhì)量指標(biāo) |
六氟乙烷(C2F6).ppmv | ≥99.999% |
氧氣(O2).ppmv | ≤2.0 |
氮?dú)猓∟2).ppmv | ≤8.0 |
二氧化碳(CO2).ppmv | ≤0.5 |
一氧化碳(CO).ppmv | ≤0.5 |
水份(H2O).ppmv | ≤0.1 |
酸度(以HF計).ppmv | ≤0.1 |
其它有機(jī)物.ppmv | ≤1.5 |
包裝規(guī)格:
鋼瓶包裝 | 容積 | 凈重 |
44L | 43kg | |
鋼瓶閥門 | CGA660/DISS716 |